目前的超精細加工，以不改動工件資料物理特性為前提，以取得極限的形狀精度、尺度精度、外表粗糙度、外表完整性(無或很少的外表損害，包括微裂紋等缺點、殘余應力、安排變化)為目標。

超精細加工的研討內容，即影響超精細加工精度的各種因素包括：超精細加工機理、被加工資料、超精細加工設備、超精細加工東西、超精細加工夾具、超精細加工的檢測與誤差補償、超精細加工環境(包括恒溫、隔振、潔凈操控等)和超精細加工工藝等。一直以來，國內外學者圍繞這些內容展開了體系的研討。超精細加工的開展閱歷了如下三個階段。

1）20世紀50年代至80年代，美國率先開展了以單點金剛石切削為代表的超精細加工技能，用于航天、國防、地理等范疇激光核聚變反射鏡、球面、非球面大型零件的加工。

2）20世紀80年代至90年代，進入民間工業的使用初期。美國的摩爾公司、普瑞泰克公司，日本的東芝和日立，以及歐洲的克蘭菲爾德等公司在政府的支持下，將超精細加工設備的商品化，開端用于民用精細光學鏡頭的制作。單超精細加工設備仍然稀疏而昂貴，主要以專用機的方式訂制。在這一時期還呈現了可加工硬質金屬和硬脆資料的超精細金剛石磨削技能及磨床，但其加工效率無法和金剛石車床相比。

3）20世紀90年代后，民用超精細加工技能逐步老練。在汽車、能源、醫療器材、信息、光電和通信等工業的推動下，超精細加工技能廣泛使用于非球面光學鏡片、超精細模具、磁盤驅動器磁頭、磁盤基板、半導體基片等零件的加工。跟著超精細加工設備的相關技能，例如精細主軸部件、翻滾導軌、靜壓導軌、微量進給驅動裝置、精細數控體系、激光精細檢測體系等逐步老練，超精細加工設備成為工業界常見的出產設備。此外，設備精度也逐步挨近納米級水平、可加工工件的尺度范圍也變得更大，使用越來越廣泛。跟著數控技能的開展，還呈現了超精細五軸銑削和飛切技能。已經能夠加工非軸對稱非球面等復雜零件